已成为半导体微电子工艺中使用的较主要的特种气体,kh550批发报价, 用于各种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。
的微电子应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路,也用于化合物半导体器件(碳化硅等)。在**晶格**阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有先进的集成电路的生产线都需用到。的纯度对器件性能和成品率关系较大,更高的器件需要更高纯度的(包括乙、丙)。
硅微粉表面改性设备的选择,应根据其表面改性机理所确定的加工工艺为基准,选择和配套无污染的表面改性设备。目前前国内的表面改性设备比较多,但是有些表 面改性设备没有遵循硅微粉表面改性的机理及工艺要求等制造的,造成表面改性的效果不好,因此要对购置的改性设备进行改造和配套后才能达到较好的效果。
表面改性设备的选择是硅微粉表面改性至关重要的一个环节,在选择表面改性设备时应考虑满足以下几点要求:
一是表面改性设备能将硅微粉在动态状况下加热并保温,保温时间能够自动控制。
二是要有排气装置,可将表面改性前后脱除的水以蒸气的方式排出,使偶联剂与粉体产生缩合反应,单氨基 KH-550,达到形成共价键的效果。
三是保证硅微粉在表面改性机中处在高速动态的状况下。
四是表面改性设备应满足表面改性剂分加的要求。
五是为解决表面改性中产生的假团聚和硬团聚体,双氨基 602,一定要进行有效的分级,应有**的分级设备进行配套。
还有一潜在应用是制造高性能陶瓷发动机零件尤其是使用制造硅化物( Si3N4 , SiC等) 微粉技术越来越受重视。美、日等国正在花成亿美元开发用硅、氮化硅和碳化硅微粉制造耐高温、高强度、高化学稳定性陶瓷。使用气相反应的方法制备的微粉纯度较高, 粒度细而匀, 可使陶瓷零部件性能大大提高。其应用领域较广, 例如汽车发动机的阀门和透平增压器转子已实用化,, 高速轴承和高性能刀具已商品化, 用于内燃机可使工作温度高达1400℃ , 大大提高热机效率, 适用多种燃料, 延长使用寿命; 此外还可作为火箭的隔热瓦和隐身保护层。